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반도체: 중소기업 기술국산화 전략품목 상세분석



도서명 : 반도체: 중소기업 기술국산화 전략품목 상세분석
저자/출판사 : 중소벤처기업부,중소기업기술정보진흥원, 진한엠앤비
쪽수 : 852쪽
출판일 : 2022-06-22
ISBN : 9791129030726
정가 : 85000

1. 반도체 리페어 장치
2. 고성능 반도체 패턴용 공정 소재
- 고성능 반도체 패턴용 공정 소재
- EUV Photoresist용 Rinse
- EUV 포토레지스트
- 광개시제
3. 반도체 노광 공정/장치
- 반도체 노광장치
- EUV 블랭크 마스크
- 리소그래피
4. 반도체 CMP 장치 및 부품
5. 반도체 식각공정 부품
- Boron-SiC Edge Ring
- 정전척
6. 반도체 증착 장치 및 부품
- 반도체 증착 장치 및 부품
- 터보식펌프
- 반도체용 히터
- 진공펌프
- MFC(Mass Flow Controller)
- CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치 부품
7. 반도체용 특수가스
- 반도체용 특수가스류 [11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe]
- TDMAS 소재
- 초고순도 불화수소
8. 실리콘 웨이퍼
9. 반도체 세정 장치 및 부품
- 반도체 세정 장치 및 부품
- Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) 세정장치
10. 반도체 측정/분석/검사 장치 및 부품
- 반도체 측정/분석/검사 장치 및 부품
- 2차원, 3차원 측정기
- Bare Wafer 평탄도 검사장치
- 반도체 테스터
11. 전력(파워)반도체(Power IC)
- 전력(파워)반도체(Power IC)
- 레귤레이터 IC
12. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체
13. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재