국내외 플라즈마기술산업분석보고서(2023) 책 / 비티타임즈
땅끝
2023-03-21 06:56
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본문
국내외 플라즈마기술산업분석보고서(2023)
도서명 : 국내외 플라즈마기술산업분석보고서(2023)
저자/출판사 : 비피기술거래,비피제이기술거래,저자,글,, 비티타임즈
쪽수 : 110쪽
출판일 : 2022-11-21
ISBN : 9791163453925
정가 : 66000
I. 서론 1
II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3
나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5
다. 플라즈마 보관 6
III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10
나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15
IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 20
V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 30
나. 플라즈마 응용 산업 현황 35
1) 반도체 산업 35
2) 디스플레이 산업 39
3) 환경 산업 39
다. 특허 현황 41
1) 국내 42
2) 국외 55
3) 특허분쟁 68
VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 71
가. 국내 71
1) 국가핵융합연구소 (NFRI) 72
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 75
3) 에이피티씨 77
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 80
5) 피에스엠 (PSM) 83
6) 기타 84
나. 국외 85
1) Plasma Ionic 86
2) relyon plasma 88
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 91
4) Nordson March 94
5) Plasmatreat 96
VII. 결론 99
VIII. 참고문헌 102
도서명 : 국내외 플라즈마기술산업분석보고서(2023)
저자/출판사 : 비피기술거래,비피제이기술거래,저자,글,, 비티타임즈
쪽수 : 110쪽
출판일 : 2022-11-21
ISBN : 9791163453925
정가 : 66000
I. 서론 1
II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3
나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5
다. 플라즈마 보관 6
III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10
나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15
IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 20
V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 30
나. 플라즈마 응용 산업 현황 35
1) 반도체 산업 35
2) 디스플레이 산업 39
3) 환경 산업 39
다. 특허 현황 41
1) 국내 42
2) 국외 55
3) 특허분쟁 68
VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 71
가. 국내 71
1) 국가핵융합연구소 (NFRI) 72
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 75
3) 에이피티씨 77
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 80
5) 피에스엠 (PSM) 83
6) 기타 84
나. 국외 85
1) Plasma Ionic 86
2) relyon plasma 88
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 91
4) Nordson March 94
5) Plasmatreat 96
VII. 결론 99
VIII. 참고문헌 102
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